他表示,年1南方一方树将围绕创新、健康、艺术三大核心理念展开。
然而,月1广较低的光/电子能量转换效率严重限制了光刻胶的产量。东起光刻胶是集成电路芯片大规模制造的关键材料。
步电报清华大学核能与新能源技术研究院新型能源与材料化学团队介绍了一种利用快速硫醇-烯点击化学实现超高效纳米制造的点击光刻策略。这种通过实现超高功能性材料设计而促进的新方法能够在极低的深紫外暴露剂量(例如7.5mJcm–2)下对含金属纳米团簇进行高对比度成像,力现这与传统的光刻胶体系相比所需曝光剂量低10-20倍。该研究结果展示了点击光刻的高灵敏度和高分辨率特性,货市为未来的光刻设计提供了灵感。
硫醇-烯反应作为一种光引发的自由基加成反应,场结由于其极高的效率,在化学领域被广泛称为点击化学。同时,算运使用电子束光刻也在低剂量下获得了45nm的密集图形,揭示了这种方法在高分辨率图形化中的巨大潜力。
论文的共同通讯作者为清华大学核能与新能源技术研究院新型能源与材料化学实验室徐宏副教授和何向明研究员,行日第一作者为清华大学博士后王倩倩。
年1南方上述研究成果以ExceptionalLightSensitivitybyThiol–EneClickLithography为题发表在JournaloftheAmericanChemicalSociety上利用直接法工艺制备含硅的大宗化学品看起来简单,月1广但选择性制备芳基取代和烷基取代的硅化合物(硅烷)却并非易事。
东起(f)二硅烷自上而下的反应操作。步电报(c)设计的卤化偶联的催化变体。
力现(c)全烷基化硅烷的氯去甲基化制备杂原子取代硅烷。2.【成果掠影】基于以上研究背景,货市柏林工业大学MartinOestreich教授(通讯作者)等人介绍了一种芳离子催化全烷基化硅烷的卤代脱烷基反应,货市它可以有效地将Me4Si和相关的四元硅烷转化为多种功能化衍生物。
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